국내 업체도 8년전 ‘초고순도 불화수소’ 제조법 특허 출원_돈을 따기 위한 게임_krvip

국내 중소기업에서도 이미 8년 전 일본 수출 규제 품목 가운데 하나인 초고순도 불화수소 제조 기술을 확보했던 것으로 나타났습니다.

특허정보 검색서비스(KIPRIS)에 따르면 산업기계 제조업체 A사는 2011년 7월 '초고순도 불산(HF)의 제조방법' 특허를 출원했고, 2013년 9월 특허가 등록됐습니다.

공개된 특허정보를 보면 이 제조법은 초음파 진동을 가하는 방법으로 불화수소 중에 수분을 제외한 불순물 성분이 10억분의 1만 남도록 하는 기술입니다.

또한 특허 공개전문에 따르면 특정 상황에서는 불순물 농도가 최저 100억분의 1까지도 줄어들 수 있습니다.

국내 반도체 업체들이 일본으로부터 수입하던 불화수소는 불순물 농노가 1조의 1 이하인 '트웰브 나인', 즉 순도 99.9999999999%(9가 12개)의 제품인 것으로 알려져 있습니다.

반도체 업계 관계자는 "일본 제품보다 순도가 낮은 것은 사용해본 적이 없기 때문에 순도를 조금 낮춰도 괜찮을지는 아직 알 수가 없다"면서 "여러 달 시간을 들여 테스트를 해봐야 한다"고 말했습니다.